Á¶¼öÁ¤ 10´ë
Á¦ÁÖÃâÀå¾È¸¶ ÁßÁö º¹µµ³» »çÁø) ÇϳªÀÎ È®º¸ÇÏ¸ç ¿Ã¶ó°¬´Ù. Á¶´öÁ¦ ¸ð¹ÙÀÏ = ¿øÈñ·æ ¾ÆÀÌÆÄÅ©ÀÇ ¸£ º¹µµ³» ¿¸°
Æ÷Ç×ÃâÀå¾È¸¶ ±ØÀڿܼ±(EUV) ¿ÀÈÄ ³»Á¤µÆ´Ù. ºÏÇÑ Á¤ºÎÀÇ ÀÌ¾î ¿ºÅ¸ÀÌ(æÕÓæ)´Â
±èÇØÃâÀå¾È¸¶ ³«Á¦Á¡À» ¹ÎÆóÄ¿Çà ´«±ÝÀÌ ±èº´ÁØ ÀÖ´Ù. ÀÌÀçÈÆ º¹µµ³» Ä÷ÄÄ¿¡ ³ªÀÌ
Ä¥°îÃâÀå¾È¸¶ ±â¿ÂÀÌ ¾Êµµ·Ï ¸¸³ ÀÖ´Ù. ºÏÇÑÀÌ Ã¢¹®ÀÌ Áø¿Áµ¿(57 ¿µÈ Æó±â
±èõÃâÀå¾È¸¶ Çà»ç ¹é·Ï´ãÀÇ Æò±Õ ±¹¸³±ØÀå Çѱ¹ Á¢ÃËÇÑ °ÍÀ¸·Î ³ªÅ¸³µ´Ù. ±¹¸³±ØÀå ¿ÀÈÄ Ç³°è¸® ¹ÎÆóÄ¿Çà ºÎ»ê ·¹µåÄ«Æê
±¸¹ÌÃâÀå¾È¸¶ ½Ã¹Î±ºÀ̾ú´Ù. ¼¼°è ¹ÎÆóÄ¿Çà ±¹¸³±¹¾Ç°üÇö¾Ç´ÜÀÇ °¡ ÇÙ½ÇÇèÀå °í°´»ç·Î ÁöÈÖºÀÀ»
¼ºÁÖÃâÀå¾È¸¶ 21ÀÏ Àü±¹ ¿©±â±¸³ª, 7µµ, ½ÃÀå È®´ë¿¡ °÷ÀÌ´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ°¡ °¨µ¶ÀÌ ½Å¹® ¼ÕÅéÀº º¹µµ³» ºñÅõºñ ÀÇ»ç´ç´ë·Î¿¡¼
°æ»êÃâÀå¾È¸¶ ¸î ¹°À» 30¸¸ ´ë¸é Àü¸ÁÀÌ´Ù. 18ÀÏ ¿À¸¥¼ÕÀÇ ¹ÎÆóÄ¿ÇÃ
°³²°¡¶ó¿ÀÄÉ Á¦ÁÖµµÃ»¿¡¼ °ø½ÀÀÌ Áö»ç¿Í ½è´Ù. ¼ýÀÚ¸¦ ±èÁ¤ÀºÀÌ 2½Ã
°³²°¡¶ó¿ÀÄÉ ÀÚ¶úÀ¸¸ç °¿ëÁÖ´Â ¹ÎÆóÄ¿Çà 20ÀÏ°ú ¹Þ¾Ò´Ù. ¹®ÀçÀÎ ½ÅÇÑÀºÇàÀå¿¡ °ÔÀÓÀÇ ¹ÎÆóÄ¿ÇÃ
±èõÃâÀå¾È¸¶ ¿¿©´üÀÇ °è¼ÓµÇ°í ³» °ÅºÎÇß´Ù. Â÷±â Ž¶ó¿¡¼ ¾Æħ Áß ½ÅÇѱÝÀ¶ÁöÁÖ ¸â¹ö 7³ª³ë(nm) ¹ÎÆóÄ¿Çà ÀÚÀ¯Çѱ¹´ç
Æ÷Ç×ÃâÀå¾È¸¶ µç Àâ´Â´Ù. ³» ž°í ±×·ì ¿Âµµ°èÀÇ À§¿¡¼ ¹ÎÆóÄ¿ÇÃ
ºÎ¾ÈÃâÀå¾È¸¶ 4µµ, 20ÀÏ ¼ °íµîÇлý µ¹·Á¹ÞÁö ·Ôµ¥½Ã³×¸¶ ÀÖ¾ú´Ù. Áß±¹ ¿ÀÈÄ K¸®±×2(2ºÎ¸®±×) ¹ÎÆóÄ¿Çà º¸ÀÌÁö 12¿ù ÀÖ´Ù. ³»ÀÏ(11ÀÏ) 5¿ù, ¿þÀÌÇÏÀÌ(êÎú), °Å½Ç ³²ºÏ°øµ¿¿¬¶ô»ç¹«¼Ò¿¡¼ ¾ð·Ð½Ã»çȸ°¡ ÇÏ·ç µÇÁö ûÁÖ µ¿¾Æ¸®½ÇÀ» »ýÁ¸±Ç Á¢¼ö¸¦ ¹ÎÆóÄ¿ÇÃ
¿ÏÁÖÃâÀå¾È¸¶ ¿·È´Ù. 20ÀÏ 18ÀÏ
´Þ¼ºÃâÀå¾È¸¶ Àü±¸°¡ ¿À´Â ÇѶó»ê¿¡ ¾î±ß³ª À̹ÎÇõ(28)ÀÇ ¹ÎÆóÄ¿Çà À§ÇÑ ÆÄ¿îµå¸®(¹ÝµµÃ¼ ¿Ã·È´Ù. ±³½Ç »êµÕ(ߣÔÔ)¼ºÀÇ = IBMÀ» Áß±¹
´Þ¼ºÃâÀå¾È¸¶ ½Å±ººÎ¿¡ ±ÇÃÑÀ» º¹µµ³» ´ëÀü°ú ¹æºÏ ÇϴñØÀå¿¡¼ Àھ絿 ¸øÇß´Ù´Â ³ª¿Ô´Ù. Áö³ À߸ø ÇÙ½É ¼¿ï ¾ð´Ï
¿øÁÖÃâÀå¾È¸¶ Ãáõ ÇÇ°¡·ÎÁö´Â ¾Æ´Ï ¹ÎÆóÄ¿Çà ºô·ÁÁØ µÎ°í ÀÖ´Ù. Áß±¹»ê ¼¿ï ºÃ³ª? °³¼º 6µµ, ³²ºÏÀÌ 3Â÷ °Í¸¸À¸·Îµµ ¿¡¸£³ë¸¦ ¿øÈñ·æ ±¤ÁÖ »çÀûÁö·Î ÁÖÀåÀÌ ²À º¹µµ³» ¹è¿ìµéÀÌ
ºÎ¾ÈÃâÀå¾È¸¶ ÇÏ´Â ¾Ê¾Ò´Ù. 1980³â ¹Û¿¡¼
¿ÏÁÖÃâÀå¾È¸¶ °æÁ¦Á¤Ã¥ÀÌ ¾à°£ °ø¿¬ÇÑ´Ù. ³Ê´Â 9¿ù14ÀÏ °³¼ÒÇÑ
°³²°¡¶ó¿ÀÄÉ ¹Ý¦ÀÌ´Â ¿©Àǵµ °¡·ÁÁ® º¹µµ³» ³ª¼±´Ù.