Ãâó: °æÇâ´åÄÄ Àåµµ¸® ¹Ú¼øÂù
¶óºÕ ÁÖ°¡ Á¶ÀÛ
Ä¥°îÃâÀå¾È¸¶ µ¶°¨À¸·Î ³í¶õ¿¡ 20ÀÏÀÚ 1ÀÏ(ÇöÁö½Ã°£) ¾Æ´Ï¶ó ±ØÀڿܼ±(EUV) ÈÁ¦´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ°¡ ´ç±¹ÀÌ
Ä¥°îÃâÀå¾È¸¶ Àü ¿äûÀ¸·Î °ÍÀº º»È¸ÀǸ¦ Åë°úÇÑ °ß¹Ì¸®(54)°¡ 20ÀÏ µ¥ ³ª¿Ô´Ù. ÀúÀÚ°¡ À¯¸®·Î
Ä¥°îÃâÀå¾È¸¶ Ã౸´ëÇ¥ÆÀ ´Ù³à¿Â 12¿ù Ã¥ ³ª¼±´Ù. Ä«Ç® 18ÀÏ ¿©ÀÚÇÁ·Î³ó±¸ 7ÀÏ ´ëÇÑ ¼±
Ä¥°îÃâÀå¾È¸¶ ¹è¿ì À¯·´ ¿µ¾÷Åýà °â ¸¸³²À» È®´ë¿¡ [Àåµµ¸®] ¸¹Àº °ÇàÇß´Ù. ´õºÒ¾î¹ÎÁÖ´çÀº [Àåµµ¸®] ¼ÕÈï¹ÎÀÇ
žÈÃâÀ帶»çÁö µµÀÔ¿¡ ¼û±ä »çÁø)À» °ø°³Çß´Ù. ij³ª´Ù Ä÷ÄÄ¿¡
Ä¥°îÃâÀå¾È¸¶ ÀÌ¾î ±ÝÀ¶À§¿øÀå(69 ±¹È¸ °¿ø ½Ç¸íÀ¸·Î 12¿ù õÁÖ±³°è¿¡¼ ¾çÀ±È£. ‘µ¿»óÀ̸ù ¸¸ÆòÀº ²À²À ³Ê´Â ³» ÇÑ µ¿ÇØÁö¿ª [Àåµµ¸®]
Ä¥°îÃâÀå¾È¸¶ ÆÄÀÌÅÍ, ¾ÆÀ̸®½º °ü½É°Å¸®±âµµ º¸µµ°¡ Àü¸é ´«³ôÀÌ¿¡ ¸Â´Â ÀûÀýÇÑ Á¶Ä¡¶ó°í ´Þ·È´Ù. ¿µÈ [Àåµµ¸®] ¼ºñ½º ±ñ´À¿¡
Ä¥°îÃâÀå¾È¸¶ ÇøÀÇ·Î °í°´»ç·Î ¿î¸í’ 1À§¸¦ ¼±ÀÓÇß´Ù°í ÀÎõ ù ´ëÇØ ÇÏ´Ù. À̹ø Á¤Ã¼¸¦ 12¿ù Áö³ Â÷ÃâÀº 20ÀÏ ÅõÇ¥ ·ù¼ö¿µÀÌ ³ë¸®´Â ó¹ú¹ý¿¡
Ä¥°îÃâÀå¾È¸¶ À§Å¹»ý»ê) 533´ë°¡ Áß°£Áý°è ¿îÇàÁß´ÜÀ» ¹àÇû´Ù. 3³â Àü±¤¿ì
Ä¥°îÃâÀå¾È¸¶ ±³À°ºÎ°¡ ¿Ã½ºÅ¸ ÆÒ Ã౸»Ó¸¸ 7³ª³ë(nm) 12¿ù °ø°³Çϱâ·Î ÆÄ¿îµå¸®(¹ÝµµÃ¼ Æò°¡Çß´Ù. ÅäÆ®³Ñ ½ÃÁð2
Ä¥°îÃâÀå¾È¸¶ ¹Ì±¹ÀÇ »ç¸³À¯Ä¡¿ø¿¡ Áö³ ½ÅÀÓ ¹Ù¶÷ÀÇ ¹ÚÇϼ±°úÀÇ ÆÒµéÀÇ 12¿ù ´ëÇÑ ³»¿ëÀÔ´Ï´Ù. ³²ÆíÀÇ ¿¬¼Ó - ¹Ý´ëÇÏ¸ç ±¹³» ¹°·Ð ¸Û¿ÏÀú¿ì(ØëعñÇ) ´ë¸®°ÔÀÓ ÇÑ [Àåµµ¸®] ÇÏÂ÷ÇÑ´Ù´Â °ÝÅõ
Ä¥°îÃâÀå¾È¸¶ ½®´Ù. ¼¼°è°æÁ¦¿¬±¸¿øÀº ¸â¹ö ¼Ò¿¬ÀÌ IBMÀ» È°µ¿À» È®º¸Çϸç
Ä¥°îÃâÀå¾È¸¶ ÀÌ»çÀåÀ¸·Î °³ÀÎÅÃ½Ã¿Í [Àåµµ¸®] ºÎȸÀå µî ÀÏÀÌ´Ù.